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抗微振平台是一种专业为光学检测设备提供隔振的减振平台。又因为这样的隔振平台专业用于光学设备减振,业内喜欢称之为—气浮隔震光学平台。
一个完整的抗微振平台系统包含了这五个组成部分:隔振台面、减振单元、支撑腿、安全装置、可调地脚。核心部件是减振单元和工作台面。抗微振平台的工作台面按材质大体分两大类:大理石 台面和不锈钢台面。大理石台面一般对工作面是00级要求,而不锈钢台面也要求有不超过0.02mm/m的水平误差,这一切都是基于保证设备水平的技术要。
抗微振平台的减振单元主要使用气浮式减振器。具体又可以根据实际的使用情况下选择精密气浮式减振器和常规的气浮式减振器,这就是气浮隔震光学平台的名称由来。
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