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随着科技日新月异的发展,各类工业产品加工生产过程越来越趋于专业化、精密化。电子行业在精密仪器制造过程中会更多地利用半导体。 而半导体行业中的主体核心——对微震环境控制要求最高,一旦出现微震动,就很可能导致产线出现偏差,其产品良率也会因此受影响。所以需要对半导体厂房进行减振处理,那么该如何去减振呢?
如何对半导体厂房进行减振?
一、对洁净室结构楼板进行减振
对于洁净室的减振通常有三个方法: 采用华夫孔楼板,采用现浇开洞混凝土楼板或者按本市规定采用预制楼板。具体方案可以结合半导体厂房洁净室的特点来选择。
二、对震动设备进行减振
一般半导体厂房内均有 动力工程的转动式机械设备(如水泵、空调机、冰水机、风机)等都是需要微震控制的项目,将这些设备的震动控制好,半导体厂房的减振也会事半功倍。
三、对厂房管道进行减振
水管、风管等在运行过程中会产生震动,特别对于公用管架系统,若不能有效的控制管路系统所产生的震动力,其(水管、风管)震动会传递到井格梁上、甚至架空地板上,这将影响厂房生产设备的运行状态,对此可以采用减振器来降低或消除震动的传递。
总的来说,半导体厂房中应用抗微震控制技术是十分有必要的,一方面保证产品良率,另一方面可以减少振动对于半导体的损伤,所以一定得做好厂房的减振。