随着科技日新月异的发展，各类工业产品加工生产过程越来越趋于专业化、精密化。电子行业在精密仪器制造过程中会更多地利用半导体。  而半导体行业中的主体核心——对微震环境控制要求最高，一旦出现微震动，就很可能导致产线出现偏差，其产品良率也会因此受影响。所以需要对半导体厂房进行减振处理，那么该如何去减振呢？

如何对半导体厂房进行减振？

一、对洁净室结构楼板进行减振 

对于洁净室的减振通常有三个方法： 采用华夫孔楼板，采用现浇开洞混凝土楼板或者按本市规定采用预制楼板。具体方案可以结合半导体厂房洁净室的特点来选择。

二、对震动设备进行减振

一般半导体厂房内均有 动力工程的转动式机械设备（如水泵、空调机、冰水机、风机）等都是需要微震控制的项目，将这些设备的震动控制好，半导体厂房的减振也会事半功倍。

三、对厂房管道进行减振

水管、风管等在运行过程中会产生震动，特别对于公用管架系统，若不能有效的控制管路系统所产生的震动力，其（水管、风管）震动会传递到井格梁上、甚至架空地板上，这将影响厂房生产设备的运行状态，对此可以采用减振器来降低或消除震动的传递。

总的来说，半导体厂房中应用抗微震控制技术是十分有必要的，一方面保证产品良率，另一方面可以减少振动对于半导体的损伤，所以一定得做好厂房的减振。